晶圆缺陷检测设备的工作原理是什么？

岱美仪器技术服务2023-12-31

晶圆缺陷检测设备的工作原理是利用光学、电学、声学等原理，对晶圆表面和内部的缺陷进行检测。其中，光学原理是晶圆缺陷检测设备常用的原理之一。晶圆缺陷检测设备通过照射晶圆表面的光线，利用反射、透射、散射等现象，对晶圆表面和内部的缺陷进行检测。同时，晶圆缺陷检测设备还可以利用电学原理，通过对晶圆表面的电场、电流等参数进行测量，检测晶圆表面和内部的缺陷。此外，晶圆缺陷检测设备还可以利用声学原理，通过对晶圆表面和内部的声波进行检测，检测晶圆表面和内部的缺陷。我们岱美重信誉、守合同，严把产品质量关，热诚欢迎广大用户前来咨询考察，洽谈业务！