常州推车式氦质谱检漏仪厂家

氦检仪的组成部分有哪些？真空系统，仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括：1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。常州推车式氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。金华移动式氦质谱检漏仪哪个牌子好氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。

氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求：1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；2、反应时间短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。

氦检仪在使用过程中，较常见的故障就是灯丝脆断，氦检仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。氦检仪灯丝寿命如何延长？造成氦检仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦检仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面？第1，当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时，标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同，即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大，在途中泄漏氦的损失不相等，导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。氦质谱检漏仪安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。金华移动式氦质谱检漏仪哪个牌子好

氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。常州推车式氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。常州推车式氦质谱检漏仪厂家