常州樫山干式真空泵

日本KASHIYAMA干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：1）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；2）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；3）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；4）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。5）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求.干式真空泵，就选浚和(上海)仪器有限公司。常州樫山干式真空泵

近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高，真空度上不去，叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换，用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车，而且由于腐蚀真空度上不去，排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱，但是影响生产，一个班组的人都 等着泵修好，下面的人瞪着眼看着，上面领导脸色又不好，很是尴尬难受！因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵，干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。广州NEODRY 15E干式真空泵代理商干式真空泵，就选浚和(上海)仪器有限公司，用户的信赖之选，有需要可以联系我司哦！

干式真空泵与油泵的性能比较项目ＮｅｏＤｒｙSeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触，无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。

日本KASHIYAMASDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：SDE20M12TXMAX排气速度（L/min）：30000达到压力（Pa）：0.5电源电压：3相AC200-220V，380-480V外型尺寸WHL[mm]：460×960×900二、配置清单：序号描述数量备注1S DE20M12TX主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（GasBallast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵，欢迎新老客户来电！

日本KASHIYAMAMU180X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：MU180XMAX排气速度（L/min）：3000达到压力（Pa）：1.5电源电压：3相AC200-220V消费电力（KW）：0.5KW外型尺寸WHL[mm]：280×299×550质量【kg】：95kg二、配置清单：序号描述数量备注1MU180X主机一台，电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司，欢迎您的来电！广州樫山干式真空泵

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日本KASHIYAMASDE200干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（GasBallast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
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