防腐氧化铝陶瓷产品介绍

在半导体刻蚀设备中，随着大规模集成电路集成度的不断提高以及半导体特征尺寸不断缩少，等离子体刻蚀技术面临了许多新的挑战，例如等离子刻蚀晶圆带来的污染问题、刻蚀工艺的稳定性、刻蚀技术的应用范围等。刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源，等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此，研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前，主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外，等离子体设备的气体喷嘴，气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。氧化铝陶瓷的型号种类。欢迎来电咨询常州卡奇！防腐氧化铝陶瓷产品介绍

氧化铝陶瓷衬砖和微晶耐磨氧化铝球石在球磨机上的应用很普遍。氧化铝陶瓷辊、氧化铝陶瓷保护管及各种氧化铝、坣壱屲氧化铝与其它耐火材料的结合应用随处可见。碳纤维增强氧化铝陶瓷坣壱屲、氧化锆增强氧化铝陶瓷和其他增韧氧化铝陶瓷等各种复合改性氧化铝陶瓷在高新技术领域的应用越来越普遍。氧化铝陶瓷磨料和高级抛光膏在机械和珠宝加工行业中发挥着越来越重要的作用坣壱屲，此外氧化铝陶瓷研磨介质也越来越普遍地应用于涂料、涂料、化妆品、食品、医药等行业的原料研磨和加工。无锡高硬度氧化铝陶瓷处理方法常州卡奇简述氧化铝陶瓷规范标准。欢迎来电咨询常州卡奇！

氧化铝陶瓷用途普遍。作为精密工业陶瓷，在性能上具有一系列优势。随着科学技术的不断发展，氧化铝陶瓷已广泛应用于化工、机械制造、生物医药等各个领域，并且随着性能的提高，其应用范围也逐渐扩大。氧化铝特性的研究用于许多行业的生产活动。氧化铝瓷烧结制品抗弯强度可达250MPa，热压制品可达500MPa。氧化铝成分越纯，强度越高。在高温下强度可保持高达900°C，如下图所示。利用氧化铝瓷的机械强度，可制成器件瓷等机械部件。氧化铝陶瓷的莫氏硬度可达9，加上它具有优良的耐磨性，因此普遍用于制造刀具、球阀、砂轮、陶瓷钉、轴承等，其中氧化铝陶瓷刀具和工业阀门用得广。电阻率高，电绝缘性能好室温电阻率为1015Ω·cm，绝缘强度为15kV/mm。利用其绝缘性和强度，可制成基板、插座、火花塞、电路外壳等。

氧化铝陶瓷的重量轻，陶瓷材料的密度一般来讲都不高，氧化铝陶瓷也是如此，它的密度只为3.5g/cm3，只相当于铁的50%，因此如果将某些以铁做为材料的配件更换成氧化铝后其重量会很大降低（当然由于氧化铝的脆性较高，并不是所有地方都适合）。氧化铝陶瓷的其它性能，人们总是在不断的发现新材料研究新工艺，对于陶瓷来讲也是如此。经过多年的发展，人们以及不满足于氧化铝现有的性能了，为了增强氧化铝陶瓷明显的提高其力学强度，近国外新推的一种氧化铝陶瓷强化工艺。该工艺新颖简单，采取的技术手段是在氧化铝陶瓷的表面，采用的是电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相蒸镀方法，在镀上一层硅化合物薄膜在1200℃～1580℃下加热处理可以使氧化铝陶瓷钢化。氧化铝陶瓷的定制规格。欢迎来电咨询常州卡奇！

氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料，是一种用途普遍的陶瓷，具有较好的绝缘性、机械强度和耐高温性。氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种：高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650-1990℃，透射波长为1~6μm，一般制成熔融玻璃以取代铂坩埚;利用其透光性及可耐碱金属腐蚀性用作钠灯管;在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种，有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。其中99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管及特殊耐磨材料，如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等;95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件。氧化铝陶瓷的规格介绍。欢迎来电咨询常州卡奇！无锡高硬度氧化铝陶瓷处理方法

氧化铝陶瓷的市场应用分析。欢迎来电咨询常州卡奇！防腐氧化铝陶瓷产品介绍

氧化铝陶瓷的主要特性及应用：1.由于她有耐高温、耐腐蚀、高度度等特性，所以很好的运用在了耐火材料、陶瓷、炼铁高炉的内衬;火花赛、耐高温抗氧化涂层。2.由于它有硬度大、耐磨性能好、抗压强度高的特性，在化工系统中也被普遍的应用。3.氧化铝属于离子型，结构稳定。因此在电子行业中也被普遍用。4.氧化铝陶瓷产品气密性好，即使在耐高温下也严密不透气，因此被普遍运用到电真空中。5.氧化铝陶瓷保温材料也被普遍运用于各类耐高温炉窑的炉墙及炉顶，既耐高温又保温。防腐氧化铝陶瓷产品介绍

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